◇ M.F.C

♠Service 지원 계획

1. Repair 운영계획
   (1) Spare Parts Stock
국내 공급되고 있는 당사의 제품에 대한 수리진행이 원활히 될 수 있도록 Spare Parts를 Stock하고 있습니다.
Spare Parts에 대한 세부 항목에 대하여는 국내 수급현황을 참조로 하여 Aera Japan으로부터 공급 받으며 Spare Parts List를 용청하시면 작성하여 거래 업체에 배포하고 있습니다.
  (2) Repair
Aera의 국내 설비들은 Aera Japan 사의 Main 생산 공장인 Hachioji Technical Center의 설비와 동일 또는 동급의 설비 들로 이루어져 있으며
작업 Flow 또한 동일하므로 모든 제품 의 성능은 Aera Japan 사와 동일합니다.
현재 대한표준가스에서 제작, 수리하는 품목은 Aera Japan에 서 보증하며 그간의 납품 실적으로 고객측에서도 확인되어 있 습니다.
2. Service 운영 계획
  (1) 완성품을 통한 대응
현재 페사에서 150여대의 완성품, 반조립품의 MFC를 보유하 고 있으며, 이를 통하여 긴급을 요하는 경우 또는 이에 준하는 경우에 가장 빠른 시간 내에 조치가 가능합니다.
따라서 Customer 측에서는 Spare MFC 의 부담을 줄일 수 있으리라 사려 됩니다.    (2) 반 조립 상태로써의 대응 MFC의 경우 각 공장별, Line별, 장비별, 유량별로 나뉘어져 있으며 현재 사용 중에 있는 MFC의 Spec은 수백 종류가 있습 니다. 따라서 많은 종류별로 모든 MFC을 완성 품으로 준비하는 것 은 현실적으로 불가능하므로, 완성 품에 가장 근접한 반 조립 상태의 MFC(유량변경가능 상태)를 일정량 준비하여 신속한 대응이 가능토록 하고 있습니다.    (3) 부품으로써의 대응 상기 2항의 설명과 같은 이유로 (1),(2)항으로의 부족한 부분에 대하여는 부품으로의 준비가 있습니다. (4) 기타 기타 Customer 의 요청이 있을 경우 가장 빠른 시간 내에 조 치가 가능토록하며, 필요한 모든 조치를 협의를 통하여 실시토 록 하겠습니다.

FC-980series
Higher grade model supporting next-generation processes

FC-790series
Next standard Mass Flow Controller

FC-780series
Highly versatile Mass Flow Controller Sets a new global standard

FC-770series
Adopts elastomer seal, realizes cost merits

The Other MFC
Guarantees mature and stable performance

특징:Dual type CPU 사용(RS-232 Interface)
4개에서 8개의 MFC Control 가능
Baratron Gauge 와 함께 Up-Stream Pressure Control 기능(옵션)
기타기능: 적산, Master & Slave(Gas Mixing ration 기능) Alarm 기능(유럽, 아시아 수출모델)

GMC 1000(Flow & Pressure Controller)

Description

Microprocessor based GMC 1000 Flow & Pressure Controller is designed for supplying electronic power to MFC(Mass Flow Controller) for displaying and controlling gas flow rate by set point voltage.
Optional Pressure Control Module can be provided auto pressure control in VACUUM system conjunction with Capacitance Manometer by controlling gas flow via MFC unit.
All these functions are controlled with state of art software in MicroProcessor.]
And this unit can be communicated by standard RS-232C with any industrial controller or PC.
Instrument setup enables readout in flow units of sccm and slm; and in pressure units of Torr, mTorr.

Feature & Benefit

Automatic zeroing on MFC
User selectable flow and pressure units
User friendly numeric button data input such as set-point valve etc...
Dual Microprocessor-based design allows for operation from the front panel or remotely throught RS-232C interface and optional TTL & Analog interface.
Accumulation function.(Data logging, total floe rate calculation and display)
Max. 8 channel MFC control output.
Gas mixing ration function.(Master & slave channels can be selected by end users, and the flow rates of non-selected slave channels are also controlled independently.)
Automatic upstream pressure control functions...option for typical sputtering system.(Pressure of process chamber can be controlled by using the selected channel, the gas flow of the rest channels are controlled separately.)
Flow error display.
CE and UL certification have been applying.
Specification

Input Signal: 0-5VDC(MFC) 0-10DVC(Pressure Sensor)
Input Power: AC IN 90V-132V/180V-264V, Selectable
Operating Temp: 0-60'C
Interface: RS-232 or Analog, TTL(ON/OFF)
Display: 4Line LCD with 3 1/2(Flow) and 51/2(Pressure)place readout
Display Units: sccm, slm, Torr, mTorr
Size:241mm W * 300mm D * 88mm H
Ordering Information

Example:

GMC 1000(Model Name)-4(Number of Channel) -0(P: Pressure Controller) -0(I:4-20mA) -0(A:Accumulator)

* 4ch, 6ch, 8ch Available

--------------------------------------------------------------------------------

GMC 100A(MFC Power Supply & Readout)

Description

GMc 100A MFC power supply and readout unit is designed for supplying electronic power to MFC for display and controlling gas flow rate by set point voltage (0-5Vdc).

User can set full scale range for each MFC Channel by Potentiometer at front panel easily.

This unit has unique designed simple gas correction factor input function and ratio control function which can control slave channels by changing master channel gas flow.

Feature & Benefit

Analog, TTL interfacing available.
Compact size, saving space at control rack.
Maximum 3MFC's channels.
Standard ratio control function.
Gas correction factor input function.
Specification

Input Signal: 0-5VDC(MFC)
Input Power: AC IN 90V- 132V/180V-264V, Selectable.
Operating Temp: 0-60'C
Output Power: +- 15VDC =-5%@1Amps
Interface: Analog, TTL(ON/OFF),
Display: 3 1/2 place readout
Display Units: sccm, slm, Torr, mTorr
Size: 241mm W * 250mm D * 88mm H
Ordering Information

Example:

GMC 100A(Model Name) - 3(Number of Channel)

*2ch, 3ch Available

[More Information? Click the Picture!]

Masterpiece plasma DC Power Supply

MDC -P Series

특징:Soft Start 기능, 정밀 정전압 정전류 동작(CVCA기능)

완벽한 RF Noise 대책, Power Set 및 Run Power Display 기능

(플라즈마 환경에 맞는 사양, 주문제작 가능)

MGF Power Supply / Readout

MGF -S, -C Series

1.Introduction

MDC-P 시리즈는 프라즈마, 프로셋용으로 개발된 가변 전압, 전류 직류전원 장치로 프라즈마 프로세서에 적합하도록 각종 remote 기능 및 사용 목적에 필요한 많은 기종이 준비되어 있 습니다.

MDP-P시리즈는 Power Control 디바이스에 안전하고 신뢰성 있는 SCR 혹은 TRIAC을 채용한 위상 제어 방식으로 견고하 고 여유있는 용량으로 설계된 전원장치입니다. 또한 위상제어 는 전용위상제어 IC를 사용 및 주변 제어 회로구성에 있어 20 개의 IC 와 34개의 DIODE로 구성하여 정밀한 CONTROL을 합니다.

회로의 특징으로는

Soft Start 기능이 기본 내장되어 있고 Soft Start의 동작 상 태를 LED Lamp로 확인된다.
어떠한 부하에도 대응이 가능한 정밀 정밀 정전압 정전류 동작
(CVCA기능)
RF NOISE 대책이 완벽하다, Line Input 및 Output 단자와 그 외 모든 입출력신호에 Noise Filter를 채용하여 RF Generator와 동시 사용시 동작 안정.
Voltage Meter Amper Meter 가 별도로 3 1/2 Digit의 Digital로 표시된다.
Set 기능 채용으로 Display Select S/W로 정확한 출력전압을 사전에 확인하여 필요한 전압을 출력할 수 있다.
Set 기능은 직선성이 우수함으로 Remote 기능으로 출력을 Control할 경우에도 매우 양호한 재현성과 직선성을 가진다.
Auto Display Select 기능이 내장되어 있음으로 Output On 시는 Run 전압이 표시되고 Off 시는 자동으로 Set 전압이 표 시된다.(수동으로 조작가능)
Flicker Rejection Control기능 추가로 양질의 플라즈마를 발 생토록 한다.
MDC FRONT & SIZE

MGF, MFC SERIES.
MGF-1S 2S 3S 4S 5S 및 MGF-1C 2C 3C 4C 5C MFC 의 DIGITAL READ OUT 장치로 MFC(MASS FLOW CONTROLLER)의 전원공급, 설정, 표시를 제어하는 제품이다.

[MGF SCALE]

특징:

SET과 FLOW 의 표시가 별도로 구성되어 판독이 용이하고 조작이 간편하다.
MGF-C SERIES 는 FULL SCALE 선택이 16 RANG으로 전 환토록 CPU 로 12BIT A/D제어를 하여 사용범위에 제한이 없 도록 구성 하였다.
추가사양으로는 GAS SHUT OFF VALVE CONTROL UNIT 을 사용자의 요구에 따라1-5 CHANNEL 및 MAST VALVE SWITCH 로 구성하여 사용할 수 있다.
SET 및 FLOW를 제어하는 회로는 OFF-SET 전압의 변동이 발생 않도록 설계되어 MFC OFF시와 소량의 GAS 량 제어시 LEAKAGE 가 적은 최적의 제어를 행할 수 있다.
모든 입출력 외부단자에는 고주파 FILTER 가 설치되어 외부 NOISE에 의한 오동작을 최소로 하였다.